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浏览/检索结果: 共14条，第1-10条 帮助 限定条件 内容类型：专利    专题：半导体研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 电学测试的汞探针装置 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2010-08-12, 公开日期: 2010-02-10, 2010-08-12, 2010-10-15 作者:  刘兴昉 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2010/08/12 碳化硅射频微电子机械系统滤波器的制作方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2009-07-01, 公开日期: 3999, 2010-10-15 作者:  刘兴昉 收藏  |  浏览/下载：112/0  |  提交时间：2010/03/19 多晶立方相碳化硅微机电系统谐振器件及其制作方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2009-06-03, 公开日期: 3996, 2010-10-15 王 亮; 宁 瑾; 孙国胜; 王 雷; 赵万顺; 赵永梅; 刘兴昉  收藏  |  浏览/下载：52/0  |  提交时间：2010/03/19 图形衬底上生长碳化硅厚膜的方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2009-05-27, 公开日期: 3996, 2010-10-15 作者:  刘兴昉 收藏  |  浏览/下载：138/0  |  提交时间：2010/03/19 氧化硅上制备低阻碳化硅的方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2009-05-27, 公开日期: 3996, 2010-10-15 作者:  刘兴昉 收藏  |  浏览/下载：97/0  |  提交时间：2010/03/19 基于氮化铝缓冲层的硅基3C-碳化硅异质外延生长方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2008-10-08, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15 作者:  刘兴昉 收藏  |  浏览/下载：55/0  |  提交时间：2009/06/11 一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置 专利 专利类型: 实用新型, 申请日期: 2008-08-13, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15 作者:  刘兴昉 收藏  |  浏览/下载：51/0  |  提交时间：2009/06/11 用于MEMS器件的大面积3C-SiC薄膜的制备方法 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2008-03-26, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15 作者:  刘兴昉 收藏  |  浏览/下载：244/59  |  提交时间：2009/06/11 一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置 专利 专利类型: 实用新型, 申请日期: 2008-01-02, 公开日期: 2009-06-04, 2010-10-15 作者:  刘兴昉 收藏  |  浏览/下载：97/15  |  提交时间：2009/06/11 一种碳化硅外延生长用加热器旋转装置 专利 专利类型: 发明, 申请日期: 2008-01-02, 公开日期: 2009-06-04, 2009-06-11, 2010-10-15 作者:  刘兴昉 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2009/06/11