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科研机构
上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
专利 [3]
发表日期
2006 [3]
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内容类型:专利
专题:上海微系统与信息技术研究所
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电磁激励高阶模态硅微机械悬臂梁的驱动结构、制作方法及应用
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1880211, 申请日期: 2006-12-20, 公开日期: 2006-12-20
李昕欣
;
金大重
;
刘剑
;
左国民
;
刘民
收藏
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浏览/下载:19/0
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提交时间:2012/01/06
一种用于爆炸物检测的自组装单分子层敏感膜及制备方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1866002, 申请日期: 2006-11-22, 公开日期: 2006-11-22
李昕欣
;
左国民
;
程振兴
;
王跃林
;
封松林
收藏
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浏览/下载:10/0
  |  
提交时间:2012/01/06
一种集成压阻二氧化硅悬臂梁超微量检测传感器、制作方法及应用
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1866007, 申请日期: 2006-11-22, 公开日期: 2006-11-22
李昕欣
;
李鹏
;
左国民
;
王跃林
;
封松林
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/01/06
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