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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 学科主题：Physics     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Study on synchrotron radiation lithography at BSRF 期刊论文 HIGH ENERGY PHYSICS AND NUCLEAR PHYSICS-CHINESE EDITION, 2001, 卷号: 25, 页码: #REF! 作者:  Peng LQ(彭良强);  Yi FT(伊福廷);  Han Y(韩毅);  Zhang JF(张菊芳);  Peng, LQ 收藏  |  浏览/下载：19/0  |  提交时间：2016/04/12 synchrotron radiation lithography  ultra-deep microstructure  high aspect ratio