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Characterization of NbAlO dielectric film deposited on InP 期刊论文
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, 2011, 卷号: 29, 期号: 1, 页码: 01A803
He,DW; Cheng,XH; Xu,DW; Wang,ZJ; Yu,YH; Sun,QQ; Zhang,DW
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