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科研机构
半导体研究所 [4]
内容类型
期刊论文 [4]
发表日期
1999 [2]
1998 [1]
1997 [1]
学科主题
半导体材料 [4]
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学科主题:半导体材料
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砷化镓晶片表面损伤层分析
期刊论文
稀有金属, 1999, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 241
郑红军
;
卜俊鹏
;
曹福年
;
白玉柯
;
吴让元
;
惠峰
;
何宏家
收藏
  |  
浏览/下载:35/0
  |  
提交时间:2010/11/23
GaAs化学机械抛光引入亚表面损伤层的分析
期刊论文
固体电子学研究与进展, 1999, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 111
郑红军
;
卜俊鹏
;
何宏家
;
吴让元
;
曹福年
;
白玉珂
;
惠峰
收藏
  |  
浏览/下载:41/0
  |  
提交时间:2010/11/23
X射线回摆曲线定量检测SI-GaAs势光晶片的亚表面损伤层厚度
期刊论文
半导体学报, 1998, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: 635
曹福年
;
卜俊鹏
;
吴让元
;
郑红军
;
惠峰
;
白玉珂
;
刘明焦
;
何宏家
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浏览/下载:11/0
  |  
提交时间:2010/11/23
GaAs晶片化学机械抛光的机理分析
期刊论文
固体电子学研究与进展, 1997, 卷号: 17, 期号: 4, 页码: 399
卜俊鹏
;
郑红军
;
何宏家
;
吴让元
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2010/11/23
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