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科研机构
半导体研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
1990 [1]
1989 [1]
学科主题
半导体材料 [2]
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学科主题:半导体材料
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Er~+注入单晶硅中非晶层晶化过程的TEM研究
期刊论文
半导体学报, 1990, 卷号: 11, 期号: 7, 页码: 561
严勇
;
王培大
;
胡梅生
;
孙慧龄
;
李齐
;
冯端
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浏览/下载:21/0
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提交时间:2010/11/23
单晶硅中磷离子注入缺陷的HREM研究
期刊论文
半导体学报, 1989, 卷号: 10, 期号: 4, 页码: 276
严勇
;
李齐
;
冯端
;
孙慧龄
;
王培大
收藏
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2010/11/23
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