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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 发表日期：2018    专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Effect of Non-Ionic Surfactant on Chemical Mechanical Planarization Performance in Alkaline Copper Slurry 期刊论文 INTERNATIONAL JOURNAL OF PRECISION ENGINEERING AND MANUFACTURING, 2018 作者:  Chen L(陈岚);  Cao H(曹鹤);  Xu QZ(徐勤志);  Yang F(杨飞) 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2019/04/25 An Oxide Chemical Mechanical Planarization Model for HKMG Structures 期刊论文 ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2018 作者:  Sun Y(孙艳);  Liu HW(刘宏伟);  Chen L(陈岚);  Xu QZ(徐勤志);  Yang F(杨飞) 收藏  |  浏览/下载：8/0  |  提交时间：2019/04/25 Integral Equation Prediction of the Structure of Alternating Copolymer Nanocomposites near a Substrate 期刊论文 Langmuir, 2018 作者:  Chen L(陈岚);  Xu QZ(徐勤志);  Yang F(杨飞);  Cao H(曹鹤) 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2019/04/25