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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2016    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测 期刊论文 光学精密工程, 2016, 期号: 9, 页码: 2134-2141 作者:  刘兆武;  李文昊;  王敬开;  姜珊;  宋莹 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2017/09/17 激光干涉仪  纳米二维工作台  测量镜  面形误差  在线检测   扫描曝光系统中二维工作台x轴测量镜的面形在线检测 期刊论文 中国激光, 2016, 页码: 231-236 作者:  刘兆武;  李文昊;  巴音贺希格;  宋莹;  姜珊 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2018/04/09 测量  光检测技术  二维工作台  测量镜面形  光栅  激光干涉仪