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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2011    内容类型：会议论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Application of ultrasonic stress relief in the fabrication of SU-8 micro structure 会议论文 12th Annual Conference of the Chinese Society of Micro-Nano Technology/2nd International Conference of Chinese Society of Micro-Nano Technology, Xian, PEOPLES R CHINA, 2010-10-22 作者:  Du Liqun;  Wang Qijia;  Zhang Xiaolei 收藏  |  浏览/下载：5/0  |  提交时间：2019/12/18 Ultrasonic stress relief  SU-8 micro structure  Internal stress  MEMS