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浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2010    学科主题：半导体材料     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Optimization of inductively coupled plasma etching for low nanometer scale air-hole arrays in two-dimensional GaAs-based photonic crystals 期刊论文 journal of semiconductors, 2010, 卷号: 31, 期号: 1, 页码: 012003-1-012003-5 作者:  Ye Xiaoling;  Xu Bo;  Jin Peng;  Peng Yinsheng;  Ye Xiaoling 收藏  |  浏览/下载：33/0  |  提交时间：2011/08/16