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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 发表日期：2009    学科主题：半导体材料     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Stress and resistivity controls on in situ boron doped LPCVD polysilicon films for high-Q MEMS applications 期刊论文 半导体学报, 2009, 卷号: 30, 期号: 8, 页码: 34-38 Xie Jing; Liu Yunfei; Yang Jinling; Tang Longjuan; Yang Fuhua 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2010/11/23 Dependence of wet etch rate on deposition, annealing conditions and etchants for PECVD silicon nitride film 期刊论文 半导体学报, 2009, 卷号: 30, 期号: 9, 页码: 151-154 作者:  Li Yan 收藏  |  浏览/下载：15/0  |  提交时间：2010/11/23