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山东大学 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
2008 [1]
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发表日期:2008
专题:山东大学
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4H-Si_(1-y)C_y合金的生长及特性
期刊论文
半导体技术, 2008, 期号: S1, 页码: 290-293
作者:
俞斐
;
吴军
;
韩平
;
王荣华
;
葛瑞萍
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提交时间:2019/12/27
化学气相淀积
4H-Si1-yCy合金
电化学腐蚀电容电压
载流子浓度分布
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