QQ客服 官方微博 反馈留言

浏览/检索结果: 共1条，第1-1条 帮助 限定条件 发表日期：2008    专题：光电技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 RET simulations for SLM-based maskless lithography 期刊论文 MICROELECTRONIC ENGINEERING, 2008, 卷号: 85, 期号: 5-6, 页码: 929-933 作者:  Guo, XlaoWei;  Du, Jinglei;  Luo, Xiangang;  Deng, Qiling;  Du, Chunlei 收藏  |  浏览/下载：10/0  |  提交时间：2015/09/21 optical maskless lithography  spatial light modulator  reticle enhancement technique