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科研机构
半导体研究所 [2]
内容类型
期刊论文 [2]
发表日期
1999 [2]
学科主题
半导体材料 [2]
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发表日期:1999
学科主题:半导体材料
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砷化镓晶片表面损伤层分析
期刊论文
稀有金属, 1999, 卷号: 23, 期号: 4, 页码: 241
郑红军
;
卜俊鹏
;
曹福年
;
白玉柯
;
吴让元
;
惠峰
;
何宏家
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提交时间:2010/11/23
GaAs化学机械抛光引入亚表面损伤层的分析
期刊论文
固体电子学研究与进展, 1999, 卷号: 19, 期号: 1, 页码: 111
郑红军
;
卜俊鹏
;
何宏家
;
吴让元
;
曹福年
;
白玉珂
;
惠峰
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提交时间:2010/11/23
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