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用于微机械器件和微电子机械系统的关键技术——微机械技术 期刊论文
功能材料与器件学报, 1998, 期号: 04
王渭源; 鲍敏杭; 赖宗声; 陆德仁; 沈绍群; 王效东; 王云珍
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