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X射线回摆曲线定量检测SI-GaAs势光晶片的亚表面损伤层厚度 期刊论文
半导体学报, 1998, 卷号: 19, 期号: 8, 页码: 635
曹福年; 卜俊鹏; 吴让元; 郑红军; 惠峰; 白玉珂; 刘明焦; 何宏家
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