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科研机构
半导体研究所 [1]
内容类型
期刊论文 [1]
发表日期
1987 [1]
学科主题
半导体材料 [1]
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发表日期:1987
学科主题:半导体材料
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FORMATION OF SILICIDES IN THE TI, TI(OX)/SI(111), AND TISIO2/SI(111) SYSTEMS
期刊论文
journal of vacuum science & technology a-vacuum surfaces and films, 1987, 卷号: 5, 期号: 4, 页码: 1402-1406
HSU CC
;
WANG YX
;
YIN SD
;
LI BQ
;
JI MR
;
WU JX
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提交时间:2010/11/15
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