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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Robust pixel-based source and mask optimization for inverse lithography 期刊论文 opt. laser technol., 2013, 卷号: 45, 页码: 285 作者:  Li, Sikun;  Wang, Xiangzhao;  Bu, Yang 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻机照明均匀化技术的研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012 作者:  肖艳芬 收藏  |  浏览/下载：313/0  |  提交时间：2016/11/28 光刻机  照明系统  微透镜阵列  光束均匀化  均匀性检测   大焦深光学成像技术的相空间方法研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2007 作者:  阳庆国 收藏  |  浏览/下载：108/0  |  提交时间：2016/11/28 焦深  景深  离焦  相空间  波前编码  模糊函数  魏格纳分布函数   基于粒子群算法的光刻机光源掩模投影物镜优化技术 学位论文 作者:  王磊 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻  optical lithography  分辨率增强技术  resolution enhancement technique  光源掩模投影物镜优化  source mask projector optimization  粒子群算法  particle swarm optimization