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上海光学精密机械研究... [2]
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会议论文 [1]
学位论文 [1]
发表日期
2016 [1]
2013 [1]
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用于激光损伤在线缺陷检测的远距离高分辨率系统设计
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:
翟婷婷
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提交时间:2016/11/28
在线检测
大口径元件
远距离高分辨率
暗场成像
光学设计
Design of zoom system for pupil shaping of lithography tool
会议论文
international conference on optical instruments and technology - optical systems and modern optoelectronic instruments
作者:
Fang, Ruifang
;
Zeng, Aijun
;
Zhang, Shanhua
;
Huang, Huijie
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提交时间:2016/11/28
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