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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 多光束激光并行直写光栅装置 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012 作者:  曹武刚 收藏  |  浏览/下载：20/0  |  提交时间：2016/11/28 多光束，高精度，光栅，激光直写，伺服聚焦   分布式聚焦伺服系统的研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009 作者:  陈璐 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28 聚焦伺服  分布式控制系统  逆系统  嵌入式处理器  虚拟仪器   无掩模激光直写纳米光刻机 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2009 作者:  范永涛 收藏  |  浏览/下载：156/0  |  提交时间：2016/11/28 激光直写  无掩模光刻  微纳加工  自动聚焦  功率标定