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浏览/检索结果: 共10条，第1-10条 帮助 限定条件 专题：上海光学精密机械研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于相干调制成像的高功率激光光束波前测量方法研究 学位论文 博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  陶华 收藏  |  浏览/下载：211/0  |  提交时间：2016/11/28 高功率激光  波前测量  相位恢复  相干调制成像   倍频用大口径KDP晶体精密安装工艺研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  沈健 收藏  |  浏览/下载：84/0  |  提交时间：2016/11/28 KDP晶体  有限元方法  面形质量  准运动耦合  定位精度   大量程高精度光学间距测量系统的研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016 作者:  师中华 收藏  |  浏览/下载：47/0  |  提交时间：2016/11/28 光学镜头，镜面间距，低相干测量，MEMS光开关，差分测量   双频激光干涉仪实现纳米精度测量的研究 学位论文 硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2005 作者:  宁志高 收藏  |  浏览/下载：18/0  |  提交时间：2016/11/28 双频激光干涉仪  纳米测量  误差分析   外差干涉仪混频误差分析 期刊论文 中国激光, 2005, 卷号: 32, 期号: 6, 页码: 852, 855 宁志高; 程兆谷; 高海军 收藏  |  浏览/下载：718/181  |  提交时间：2009/09/24 仪器  instrumentation  频率混叠  frequency mixing  非线性误差  nonlinear errors  外差干涉  heterodyne interference  误差分析  error analysis   基于平面光栅尺的光刻机工件台位置测量技术研究 学位论文 作者:  郑亚忠 收藏  |  浏览/下载：266/0  |  提交时间：2018/12/26 光刻机，工件台，位置测量，平面光栅尺  Lithography tools, Wafer stage, Position measurement, Plane grating encoder   在线可更换模块（LRU）调平与对接关键技术研究 学位论文 作者:  王世魏 收藏  |  浏览/下载：68/0  |  提交时间：2018/12/26 混联机构  Hybrid mechanism  调平与对接  Leveling and docking  同时建图与定位  SLAM  二维码定位  Positioning by Qr-code   光栅尺关键技术研究 学位论文 作者:  卢炎聪 收藏  |  浏览/下载：176/0  |  提交时间：2018/12/26 光栅干涉仪  grating interferometer  标尺光栅  grating scale  光学细分  optical subdivision  信号探测  signal acquisition  位移测量  displacement measurement   星载激光雷达激光频率精密控制技术研究 学位论文 作者:  杜娟 收藏  |  浏览/下载：30/0  |  提交时间：2018/12/26 频率调制光谱稳频，光学锁相环，1572nm种子激光器，1064nm种子激光器，IPDA激光雷达，高光谱分辨率激光雷达  Frequency-modulation spectrum stabilization, Optical phase-locked loop, 1572nm seed laser, 1064nm seed laser, IPDA lidar, High spectral resolution lidar   星载激光雷达激光频率精密控制技术研究 学位论文 作者:  杜娟 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2018/12/26 频率调制光谱稳频  Frequency-modulation spectrum stabilization  光学锁相环  Optical phase-locked loop  1572nm种子激光器  1572nm seed laser  1064nm种子激光器  1064nm seed laser  IPDA激光雷达  IPDA lidar  高光谱分辨率激光雷达  High spectral resolution lidar