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高NA光刻机投影物镜偏振像差检测技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  沈丽娜
收藏  |  浏览/下载：148/0  |  提交时间：2016/11/28
基于遗传算法的光刻机光源掩模优化技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者:  杨朝兴
收藏  |  浏览/下载：66/0  |  提交时间：2016/11/28
Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 111006
作者:  Yang CX(杨朝兴);  Li SK(李思坤);  Wang XC(王向朝)
收藏  |  浏览/下载：28/0  |  提交时间：2017/12/25
Source Mask Optimization Based on Dynamic Fitness Function 期刊论文
光学学报, 2016, 卷号: 36, 期号: 1, 页码: 111006
作者:  Wang XC(王向朝);  Yang CX(杨朝兴);  Li SK(李思坤)
收藏  |  浏览/下载：14/0  |  提交时间：2017/12/25
Filter calculation based on wavefront figures 期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 12, 页码: 3033
作者:  Xia ZL(夏志林);  Ceng X(曾翔);  Liu SJ(刘世杰);  Zhou Y(周游);  Zhang ZG(张志刚)
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2017/12/25
直视合成孔径激光成像雷达内发射场波前像差对成像的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 7, 页码: 728001
作者:  卢智勇;  孙建锋;  职亚楠;  周煜;  栾竹
收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/28
直视合成孔径激光成像雷达内发射场波前像差对成像的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 7, 页码: 728001
作者:  卢智勇;  孙建锋;  职亚楠;  周煜;  栾竹
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/28
直视合成孔径激光成像雷达内发射场波前像差对成像的影响 期刊论文
光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 7, 页码: 728001
作者:  卢智勇;  孙建锋;  职亚楠;  周煜;  栾竹
收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2016/11/25
光栅横向剪切干涉仪及其系统误差分析 期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 5, 页码: 508006
作者:  李杰;  唐锋;  王向朝;  戴凤钊;  冯鹏
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2016/11/28
Aberration measurement technique based on an analytical linear model of a through-focus aerial image 期刊论文
opt. express, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 5623
作者:  Yan, Guanyong;  Wang, Xiangzhao;  Li, Sikun;  Yang, Jishuo;  Xu, Dongbo
收藏  |  浏览/下载：25/0  |  提交时间：2016/11/28

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