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上海光学精密机械研... [14]
内容类型
期刊论文 [9]
学位论文 [4]
会议论文 [1]
发表日期
2016 [2]
2014 [6]
2012 [1]
2007 [1]
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专题:上海光学精密机械研究所
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75
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Compensation of astigmatism in coordinate measurement for optical aspheric elements
期刊论文
光学精密工程, 2016, 期号: 12, 页码: 3012
作者:
Hu C(胡晨)
;
Wu LQ(吴令奇)
;
Xu XK(徐学科)
;
Luo CJ(罗词金)
;
Fan XM(范晓明)
收藏
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浏览/下载:31/0
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提交时间:2017/12/25
基于SLM的非球面检测方法的补偿波面精度分析
会议论文
作者:
王微微
;
张志刚
;
刘世杰
;
马啸
;
周游
收藏
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浏览/下载:21/0
  |  
提交时间:2017/12/25
可变载频径向剪切雅敏干涉仪
期刊论文
光学精密工程, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 1176
作者:
朱勇建
;
那景新
;
王宇
;
职亚楠
;
范玉峰
收藏
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浏览/下载:26/0
  |  
提交时间:2016/11/28
雅敏干涉仪
径向剪切干涉仪
条纹图
非球面模具
可变载频径向剪切雅敏干涉仪
期刊论文
光学精密工程, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 1176
作者:
朱勇建
;
那景新
;
王宇
;
职亚楠
;
范玉峰
收藏
  |  
浏览/下载:23/0
  |  
提交时间:2016/11/28
雅敏干涉仪
径向剪切干涉仪
条纹图
非球面模具
可变载频径向剪切雅敏干涉仪
期刊论文
光学精密工程, 2014, 卷号: 22, 期号: 5, 页码: 1176
作者:
朱勇建
;
那景新
;
王宇
;
职亚楠
;
范玉峰
收藏
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浏览/下载:22/0
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提交时间:2016/11/25
雅敏干涉仪
径向剪切干涉仪
条纹图
非球面模具
大口径凸非球面面形检测方法研究
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 4, 页码: 408003
作者:
宋强
;
杨宝喜
;
袁乔
;
李璟
;
朱菁
收藏
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浏览/下载:27/0
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提交时间:2016/11/25
测量
光学测量
光学制造
非球面
零位补偿
大口径凸非球面面形检测方法研究
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 4, 页码: 408003
作者:
宋强
;
杨宝喜
;
袁乔
;
李璟
;
朱菁
收藏
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浏览/下载:23/0
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提交时间:2016/11/28
测量
光学测量
光学制造
非球面
零位补偿
大口径凸非球面面形检测方法研究
期刊论文
中国激光, 2014, 卷号: 41, 期号: 4, 页码: 408003
作者:
宋强
;
杨宝喜
;
袁乔
;
李璟
;
朱菁
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2016/11/28
测量
光学测量
光学制造
非球面
零位补偿
光刻机照明均匀化技术的研究
学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2012
作者:
肖艳芬
收藏
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浏览/下载:319/0
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提交时间:2016/11/28
光刻机
照明系统
微透镜阵列
光束均匀化
均匀性检测
靶镜光学质量检测技术的研究
期刊论文
光子学报, 2007, 卷号: 36, 期号: 5, 页码: 926, 929
刘丹
;
黄惠杰
;
任冰强
;
徐德衍
;
曾爱军
;
王向朝
收藏
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浏览/下载:1333/334
  |  
提交时间:2009/09/24
光学检验
扫描型哈特曼检测装置
靶镜
能量集中度
波像差
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