|
已选(0)清除
条数/页： 排序方式：
|
| 非晶Nb-Ni薄膜用于Cu与Si之间阻挡层的性能和结构的研究 期刊论文
人工晶体学报, 2014, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 852-856
作者: 张磊[1]; 冯招娣[2]; 王世杰[3]; 贾艳丽[4]; 贾长江[5]
  收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/21
|
| 新型碱性阻挡层抛光液的研究(英文) 期刊论文
微纳电子技术, 2014, 期号: 09, 页码: 598-604
作者: 高娇娇[1]; 刘玉岭[2]; 王辰伟[3]; 崔晋[4]
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/21
|
| 用于硅基铁电电容器集成的一种阻挡层材料及集成方法 专利
申请日期: 2013-01-01, 公开日期: 2013-07-24
作者: 刘保亭[1]; 郭建新[2]; 张磊[3]; 齐晨光[4]; 赵庆勋[5]
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2019/12/21 |
| 一种用于铜互连的导电阻挡层材料及其制备方法 专利
申请日期: 2013-01-01, 公开日期: 2013-12-11
作者: 刘保亭[1]; 张磊[2]; 齐晨光[3]; 李晓红[4]; 代秀红[5]
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/21 |
| Ni-Nb为导电阻挡层的硅基铁电电容器集成研究 学位论文
: 河北大学, 2013
作者: 齐晨光[1]
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/21
|
| 含Ni-Nb阻挡层的硅基Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3电容器的制备及铁电性能研究 期刊论文
人工晶体学报, 2013, 卷号: 42, 期号: 2, 页码: 282-285
作者: 赵庆勋[1]; 齐晨光[2]; 贾冬梅[3]; 付跃举[4]; 郭建新[5]
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/21
|
| 用于Cu互连的Ta/Ti-Al集成薄膜的结构和阻挡性能 期刊论文
功能材料, 2012, 卷号: 43, 期号: 4, 页码: 462-464
作者: 任国强[1]; 邢金柱[2]; 李晓红[3]; 郭建新[4]; 代秀红[5]
收藏 | 浏览/下载：6/0 | 提交时间：2019/12/21
|
| Ti-Al为导电阻挡层的硅基铁电电容器集成研究 学位论文
: 河北大学, 2012
作者: 刘卓佳[1]
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2019/12/21
|
| 以Ti-Al薄膜为阻挡层的硅基铁电电容器的集成 学位论文
: 河北大学, 2011
作者: 赵冬月[1]
收藏 | 浏览/下载：1/0 | 提交时间：2019/12/21
|
| Pb过量对以Ti-Al为阻挡层的硅基铁电电容器极化翻转性能的影响 期刊论文
人工晶体学报, 2011, 卷号: 40, 期号: 6, 页码: 1552-1556
作者: 刘卓佳[1]; 刘保亭[2]; 彭增伟[3]; 代秀红[4]; 闫会芳[5]
收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2019/12/21
|
