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感性可调MEMS电容性膜开关的微波等效模型分析 期刊论文
上海大学学报(自然科学版), 2006, 卷号: 12, 页码: 111-115
作者:  李越飞[1];  杨雪霞[2];  张文俊[3]
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微泵驱动方式比较研究 期刊论文
液压与气动, 2003, 页码: 43-46
作者:  罗玉元[1];  张国贤[2]
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一种用于微装配系统的压电微夹钳 会议论文
第五届全国微米/纳米技术学术会议, 2001-10-01
作者:  陈海[1];  曹长江[2];  张琛[3];  孟中岩[4]
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