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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 Resonant-cantilever bio/chemical sensors with an integrated heater for both resonance exciting optimization and sensing repeatability enhancement 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2009, 卷号: 19, 期号: 4, 页码: 45023-45023 Yu, HT; Li, XX; Gan, XH; Liu, YJ; Liu, X; Xu, PC; Li, JG; Liu, M 收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2011/12/17 FORCE MICROSCOPY  FREQUENCY  MICROCANTILEVERS  EXCITATION  DEPENDENCE   High-mode resonant piezoresistive cantilever sensors for tens-femtogram resoluble mass sensing in air 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2006, 卷号: 16, 期号: 5, 页码: 1017-1023 Jin, DZ; Li, XX; Liu, J; Zuo, GM; Wang, YL; Liu, M; Yu, HT 收藏  |  浏览/下载：22/0  |  提交时间：2011/11/08 FREQUENCY STABILITY  MICROCANTILEVERS  SYSTEMS  TRANSDUCERS  GAS   Single-wafer-processed nano-positioning XY-stages with trench-sidewall micromachining technology 期刊论文 JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING, 2006, 卷号: 16, 期号: 7, 页码: 1349-1357 Gu, L; Li, XX; Bao, HF; Liu, B; Wang, YL; Liu, M; Yang, ZX; Cheng, BL 收藏  |  浏览/下载：78/0  |  提交时间：2011/11/08 HIGH-ASPECT-RATIO  CRYSTAL SILICON  COMB ACTUATORS  MICROSTRUCTURES  MICROACTUATORS  FABRICATION  MEMS  MASK