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| 基于温度梯度驱动的液滴传输行为研究 期刊论文
测试技术学报, 2010, 期号: 05
高安然; 李铁; 刘翔; 焦继伟; 王跃林
  收藏 | 浏览/下载：17/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 微机械陀螺DRIE刻蚀过程中的局域掩膜效应 期刊论文
传感技术学报, 2010, 期号: 08
冷悦; 焦继伟; 张颖; 顾佳烨; 颜培力; 宓斌玮
收藏 | 浏览/下载：34/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 微机械陀螺的深刻蚀工艺及器件和板级热模型研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2010
冷悦
收藏 | 浏览/下载：33/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 基于Taguchi三次设计的微机械陀螺健壮性设计 期刊论文
上海交通大学学报, 2008, 期号: 02
张正福; 王安麟; 刘广军; 姜涛; 焦继伟
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 基于子结构模型的音叉振动式微机械陀螺的检测电容解析方法 期刊论文
机械工程学报, 2006, 期号: 09
刘广军; 王安麟; 姜涛; 焦继伟; 张正福
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 一种压阻式微机械陀螺的研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2005
陈雪萌
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 一种基于滑膜阻尼效应的新型微机械陀螺 期刊论文
中国机械工程, 2004, 期号: 02
陈永; 焦继伟; 熊斌; 车录锋; 李昕欣; 王跃林
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2012/01/06
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| 基于滑膜阻尼效应的音叉式微机械陀螺研究 学位论文
博士: 中国科学院研究生院（上海微系统与信息技术研究所） , 2004
陈永
收藏 | 浏览/下载：22/0 | 提交时间：2012/03/06
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| 多孔硅外延转移技术制备以氮化硅为绝缘埋层的SOI新结构 期刊论文
半导体学报, 2003, 期号: 02
谢欣云; 刘卫丽; 门传玲; 林青; 沈勤我; 林成鲁
收藏 | 浏览/下载：15/0 | 提交时间：2012/01/06
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