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上海微系统与信息技术... [3]
内容类型
期刊论文 [2]
会议论文 [1]
发表日期
2010 [1]
2009 [2]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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表面活性剂动态修饰PDMS的研究进展
期刊论文
材料导报, 2010, 期号: S2
季伙燕
;
丛辉
;
王惠民
;
金庆辉
;
赵建龙
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提交时间:2012/01/06
MEMS
硅基集成式定位平台
位移传感器
闭环控制
开环控制
神经元自适应PID控制
硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制
期刊论文
仪表技术与传感器, 2009, 期号: S1
王家畴
;
李昕欣
;
孙立宁
收藏
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浏览/下载:20/0
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提交时间:2012/01/06
UV-LIGA
电镀
厚胶工艺
射频无源器件
微机械探卡
硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制
会议论文
第11届全国敏感元件与传感器学术会议, 2009
王家畴
;
李昕欣
;
孙立宁
收藏
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2012/01/18
MEMS器件 硅基片 集成式定位平台 位移传感器 闭环控制 开环控制 自适应PID控制
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