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科研机构
上海微系统与信息技术... [4]
内容类型
专利 [2]
学位论文 [2]
发表日期
2009 [3]
2002 [1]
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专题:上海微系统与信息技术研究所
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制备双埋层绝缘体上硅衬底的方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN101604657, 申请日期: 2009-12-16, 公开日期: 2009-12-16
魏星
;
王湘
;
李显元
;
张苗
;
王曦
;
林成鲁
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浏览/下载:96/0
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提交时间:2012/01/06
SOI衬底上SiGe HBT材料与器件研究
学位论文
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2009
陈超
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浏览/下载:56/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘层上硅(SOI)
含有硅化物埋层的SOI材料
SiGe HBT
三维电路
SOI衬底上SiGe HBT材料和器件研究
学位论文
博士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所) , 2009
陈超
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2012/03/06
绝缘层上硅(SOI)
含有硅化物埋层的SOI材料
SiGe HBT
三维电路
一种类似绝缘层上硅结构的材料及制备方法
专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1359158, 申请日期: 2002-07-17, 公开日期: 2002-07-17
安正华
;
张苗
;
林成鲁
;
刘卫丽
;
沈勤我
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2012/01/06
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