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MEMS三维堆叠模块化封装研究 学位论文
硕士: 中国科学院研究生院(上海微系统与信息技术研究所)  , 2007
阮祖刚  
收藏  |  浏览/下载:71/0  |  提交时间:2012/03/06
特种SOI材料、器件及SnO2纳米结构研究 学位论文
博士, 上海微系统与信息技术研究所: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所, 2006
骆苏华
收藏  |  浏览/下载:61/0  |  提交时间:2012/03/06
集成电路铜互连一步化学机械抛光工艺及相应纳米抛光液 专利
专利类型: 发明, 专利号: CN1731567, 申请日期: 2006-02-08, 公开日期: 2006-02-08
张楷亮; 宋志棠; 封松林; 陈邦明
收藏  |  浏览/下载:9/0  |  提交时间:2012/01/06
光互连技术的研究现状及发展 期刊论文
电子学报, 1997, 期号: 11
祖继锋; 陈兴文; 余宽豪; 陈学良; 耿完桢
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2012/03/29
PECVD SiON薄膜的工艺控制、性质及其潜在应用 期刊论文
光学学报, 1995, 期号: 07
祖继锋; 耿完桢; 洪晶; 余宽豪; 江志庚; 李志彭; 陈学良
收藏  |  浏览/下载:35/0  |  提交时间:2012/03/29
微电子技术用于硅基底导波光学互连 期刊论文
半导体技术, 1992, 期号: 04
祖继锋; 姜铃珍; 洪晶; 陈学良
收藏  |  浏览/下载:22/0  |  提交时间:2012/03/29
非线性有机物和聚合物在波导光互连中的应用研究 期刊论文
量子电子学, 1992, 期号: S1
祖继锋; 余宽豪; 陈学良; 耿完桢; 洪晶
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计算机光学互连用GaAs单片集成光发射器的研究 学位论文
博士, 1991
林瑜
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