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| 全固态射频电源 会议论文
作者: 孙小孟 ; 崔晨; 林亭廷; 杨军; 李欣
  收藏 | 浏览/下载：26/0 | 提交时间：2018/07/25 |
| 原子层沉积生长电学性质可调ZnO薄膜工艺 期刊论文
微纳电子技术, 2016
作者: 张思敏; 夏洋; 程嵩
收藏 | 浏览/下载：8/0 | 提交时间：2017/05/09 |
| 一种薄膜封装系统 专利
专利号: CN203659835U, 申请日期: 2014-06-18,
作者: 夏洋; 李超波; 屈芙蓉; 冷兴龙; 刘键
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2015/05/26 |
| ALD制备氧化物簿膜工艺研究 学位论文
: 中国科学院大学, 2014
作者: 董亚斌
收藏 | 浏览/下载：2/0 | 提交时间：2017/09/27 |
| Application of Atomic Layer Deposition Tungsten (ALD W) as gate filling metal for 22 nm and beyond nodes CMOS technology 期刊论文
ECS Transactions, 2013
作者: Xu Q(徐强); Wang GL(王桂磊); Yang T(杨涛)
收藏 | 浏览/下载：13/0 | 提交时间：2014/10/30 |
| 原子层沉积法 生长ZnO的性质与前驱体源量的关系研究 期刊论文
物理学报, 2013
作者: 董亚斌; 夏洋
收藏 | 浏览/下载：4/0 | 提交时间：2014/10/22 |
| 用于Te-N共掺氧化锌薄膜的制备方法 专利
申请日期: 2012-12-11,
作者: 卢维尔; 夏洋; 李超波; 解婧; 张阳
收藏 | 浏览/下载：7/0 | 提交时间：2017/06/06 |
| 基于原子层沉积的共掺氧化锌薄膜的制备方法 专利
申请日期: 2012-12-11,
作者: 李超波; 解婧; 夏洋; 卢维尔
收藏 | 浏览/下载：10/0 | 提交时间：2017/06/06 |
| 用于提高氧化锌薄膜P型稳定性的方法 专利
申请日期: 2012-12-11,
作者: 李超波; 李楠; 解婧; 卢维尔; 夏洋
收藏 | 浏览/下载：9/0 | 提交时间：2017/06/06 |
| 原子层沉积制备N-Zr共掺的氧化锌薄膜 专利
申请日期: 2012-12-11,
作者: 李超波; 夏洋; 卢维尔; 董亚斌
收藏 | 浏览/下载：5/0 | 提交时间：2017/06/06 |
