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浏览/检索结果: 共4条，第1-4条 帮助 限定条件 专题：微电子研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 绿色二氧化碳超临界流体半导体清洗设备 专利 专利号: CN101740342A, 申请日期: 2008-11-26, 公开日期: 2010-06-16, 2010-11-26 作者:  景玉鹏;  高超群 收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2010/11/26 二氧化碳低温气溶胶半导体清洗设备 专利 专利号: CN101740341A, 申请日期: 2008-11-26, 公开日期: 2010-06-16, 2010-11-26 作者:  景玉鹏;  高超群 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2010/11/26 绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备 期刊论文 电子工业专用设备, 2008, 卷号: 37, 期号: 5, 页码: 5，14-17,34 作者:  高超群;  李全宝;  刘茂哲;  景玉鹏 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2010/05/27 表面张力  超临界二氧化碳  清洗和干燥  牺牲层释放   绿色二氧化碳超流体半导体清洗设备 专利 专利号: CN101452820, 申请日期: 2007-12-05, 公开日期: 2009-06-10, 2010-11-26 作者:  景玉鹏;  高超群;  刘茂哲;  罗小光;  李全宝 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2010/11/26