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在不同环境条件下HfO2/SiO2膜堆的应力变化 学位论文
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2008
张丽莎
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氧分压对HfO_2薄膜残余应力的影响及有限元分析 期刊论文
强激光与粒子束, 2008, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 894-898
张丽莎; 许鸿
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