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光电技术研究所 [2]
内容类型
学位论文 [1]
期刊论文 [1]
发表日期
2008 [2]
学科主题
自适应光学 [1]
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在不同环境条件下HfO2/SiO2膜堆的应力变化
学位论文
硕士, 光电技术研究所: 中国科学院光电技术研究所, 2008
张丽莎
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提交时间:2013/11/19
光学薄膜
电子束蒸发
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有限元分析
氧分压对HfO_2薄膜残余应力的影响及有限元分析
期刊论文
强激光与粒子束, 2008, 卷号: 20, 期号: 6, 页码: 894-898
张丽莎
;
许鸿
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提交时间:2015/05/18
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