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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 P偏振ArF准分子激光大角度减反射薄膜的研究与制备 学位论文 博士: 中国科学院大学, 2014 靳京城 收藏  |  浏览/下载：58/0  |  提交时间：2014/08/21 大口径基底镀膜均匀性研究 学位论文 硕士, 长春光学精密机械与物理所: 中国科学院长春光学精密机械与物理所, 2008 李香波 收藏  |  浏览/下载：34/0  |  提交时间：2012/03/21 光学薄膜  膜厚均匀性  斜入射沉积  散射效应  离子轰击致密化  离子溅射