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一种基于二级微杠杆的双质量块高灵敏度硅微谐振式加速度计结构 专利
申请日期: 2015-01-01, 公开日期: 2016-05-25
作者:  李成;  王岩;  温悦;  王超;  樊尚春
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一种硅微谐振式加速度计力学敏感结构设计 会议论文
第十三届全国敏感元件与传感器学术会议论文集中国仪器仪表学会;中国电子学会;中国航空学会;中国生物工程学会, 太原, 2014-10-01
作者:  温悦;  李成;  樊尚春
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卫星微振动检测技术 期刊论文
计测技术, 2014, 页码: 1-5,10
作者:  田玉春;  曹乐;  樊尚春
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数字闭环石英挠性加速度计量化误差分析与实验研究 期刊论文
传感器与微系统, 2013, 卷号: 32, 页码: 33-36
作者:  张晞;  张声艳;  曹巧媛
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谐振式加速度计模型分析与仿真 期刊论文
传感器与微系统, 2013, 卷号: 32, 页码: 33-35,46
作者:  李晶;  樊尚春
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微米光栅加速度计的方案研究 会议论文
2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会, 大连, 2013-07-22
作者:  冯丽爽;  王潇;  姚保寅;  刘惟芳
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微米光栅加速度计的光学灵敏度分析 会议论文
2013‘全国半导体器件技术、产业发展研讨会暨第六届中国微纳电子技术交流与学术研讨会, 大连, 2013-07-22
作者:  刘惟芳;  冯丽爽;  姚保寅;  王潇
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数字闭环石英挠性加速度计表头离散化研究 期刊论文
传感器与微系统, 2012, 卷号: 31, 页码: 62-65
作者:  张晞;  张声艳;  顾欣怡;  魏渊;  李骛
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一种基于谐振音叉的新型差动式硅微加速度计设计与分析 期刊论文
传感技术学报, 2012, 卷号: 25, 页码: 20-24
作者:  樊尚春;  孙苗苗;  李成
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微光机电加速度计的研究现状及发展 期刊论文
微纳电子技术, 2011, 卷号: 48, 页码: 583-590
作者:  冯丽爽;  迟媛媛;  周震;  姚保寅
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