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大连理工大学 [3]
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2019 [1]
2018 [1]
2007 [1]
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雷达用高深宽比金属铜微通道散热器的制作
期刊论文
航空制造技术, 2019, 卷号: 62, 页码: 95-100
作者:
李晓军
;
吕辉
;
朱和卿
;
赵雯
;
杜立群
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提交时间:2019/12/02
金属微通道
胶厚均匀性
胶厚测量
紫外光刻
雷达
50μm金属散热器微通道制作工艺研究
学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者:
李晓军
收藏
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/02
金属微通道
胶厚均匀性
电铸均匀性
胶厚测量
去胶
微机电系统中SU-8厚光刻胶的内应力研究
期刊论文
光学精密工程, 2007, 卷号: 15, 页码: 1377-1382
作者:
杜立群
;
朱神渺
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/27
SU-8
内应力测量
基片曲率法
Stoney 公式
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