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物理研究所 [2]
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2006 [2]
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Fabrication of patterned sapphire substrate by wet chemical etching for maskless lateral overgrowth of GaN
期刊论文
JOURNAL OF THE ELECTROCHEMICAL SOCIETY, 2006, 卷号: 153, 期号: 3, 页码: C182
Wang, J
;
Guo, LW
;
Jia, HQ
;
Wang, Y
;
Xing, ZG
;
Li, W
;
Chen, H
;
Zhou, JM
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提交时间:2013/09/17
INDUCTIVELY-COUPLED PLASMAS
VAPOR-PHASE EPITAXY
GROWTH
DEPOSITION
SILICON
LAYERS
Investigation of characteristics of laterally overgrown GaN on striped sapphire substrates patterned by wet chemical etching
期刊论文
JOURNAL OF CRYSTAL GROWTH, 2006, 卷号: 290, 期号: 2, 页码: 398
Wang, J
;
Guo, LW
;
Jia, HQ
;
Xing, ZG
;
Wang, Y
;
Yan, JF
;
Yu, NS
;
Chen, H
;
Zhou, JM
收藏
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浏览/下载:13/0
  |  
提交时间:2013/09/18
X-RAY-DIFFRACTION
DISLOCATION-DENSITY
VAPOR-DEPOSITION
EPITAXY
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GROWTH
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