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| PECVD下基底温度对SiC薄膜形态、成分及生长速度的影响 期刊论文
无机材料学报, 2013, 期号: [db:dc_citation_issue], 页码: 201-206
作者: 于方丽; 白宇; 秦毅; 岳冬; 罗才军
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| 等离子体增强化学气相沉积（PECVD）制备SiC薄膜及其光学特性研究 学位论文
2012
作者: 罗才军
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| PECVD法制备非晶碳化硅薄膜的研究 学位论文
2010
作者: 岳冬
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| 晶体硅太阳电池的氮化硅表面钝化研究 期刊论文
西安交通大学学报, 2002, 期号: 6, 页码: 651-654
作者: 杨宏; 王鹤; 于化丛; 奚建平; 胡宏勋
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| 离子氮化－PECVD TiN膜复合处理提高切边模具寿命研究 期刊论文
江苏石油化工学院学报, 2001, 期号: 1, 页码: 24-27
作者: 谢飞; 何家文
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| 高速钢W18Cr4V离子渗氮层组织对TiN膜与基体结合强度的影响 期刊论文
金属学报, 2000, 期号: 10, 页码: 1099-1103
作者: 谢飞; 何家文
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| 循环氩离子轰击对等离子体增强化学气相沉积(PECVD)TiN膜耐腐蚀性能的影响 期刊论文
江苏石油化工学院学报, 2000, 期号: 2, 页码: 27-30
作者: 谢飞; 何家文
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| 脉冲直流等离子体增强化学气相沉积(PCVD)设备及成套技术 期刊论文
工具技术, 2000, 期号: 12, 页码: 40-41
作者: 马胜利; 田增瑞
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| 奥氏体不锈钢离子渗氮-PECVD-TIN复合处理层组织与性能特性研究 期刊论文
江苏石油化工学院学报, 1999, 期号: 4, 页码: 27-30
作者: 谢飞; 何家文
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| 连续压入法评定等离子体增强化学气相沉积(PECVD)TIN膜基结合强度 期刊论文
江苏石油化工学院学报, 1999, 期号: 2, 页码: 4-7
作者: 谢飞; 刘青林; 易茂中; 何家文
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