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浏览/检索结果: 共3条，第1-3条 帮助 限定条件 专题：厦门大学    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 MEMS光开关的静电驱动技术 期刊论文 2005 林静; 黄元庆 收藏  |  浏览/下载：7/0  |  提交时间：2011/04/26 MEMS光开关  静电驱动  悬臂梁驱动  扭臂驱动  梳状驱动  SDA  MEMS optical switches  Electrostatic-actuators  Cantilever actuator  Torsion beam actuator  Comb drive actuator   光开关中静电驱动的微悬臂梁耦合分析 期刊论文 2003 马海阳; 王艳华; 王明亮; 孙道恒 收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2011/04/26 悬臂梁  静电力  顺序耦合  cantilever beam  electrostatic force  sequential coupling   用于光纤通信的MEMS光开关 学位论文 2002, 2002 许高攀 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2016/02/14 光开关  悬臂梁  各向异性腐蚀  optical switch  cantilever  wet anisotropic etching process