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立方碳化硅薄膜的层错结构特征 期刊论文
电子显微学报, 2019, 卷号: 38, 期号: 5, 页码: 459-463
作者:  闫学习;  姚婷婷;  陶昂;  杨兵;  陈春林
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Effect of bias on deposition of diamond/β-SiC/Cobalt silicide composite films on WC-Co substrates by plasma assisted hot filament chemical vapor deposition施加偏压对采用等离子体辅助热丝化学气相沉积法在硬质合金上沉积金刚石/碳化硅/硅化钴复合薄膜的影响 期刊论文
集成技术 Journal of Integration Technology, 2017
作者:  WANG Tao;  JIANG Chunlei;  TANG Yongbing
收藏  |  浏览/下载:20/0  |  提交时间:2018/02/02
Si基(100)取向3C-SiC单晶薄膜生长工艺技术研究 期刊论文
2017, 卷号: 38, 页码: 128-130,151
作者:  毛开礼;  王英民;  李斌;  赵高扬
收藏  |  浏览/下载:3/0  |  提交时间:2019/12/20
Effects of HfO2 Interlayer on Microstructure and Mechanical Property of Al2O3 Thin Film on MgF2 Substrate 期刊论文
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2016, 卷号: 31, 期号: 7, 页码: 779-784
作者:  Song Bo;  Zhao Li-Li;  Chen Xiao-Ying;  You Li-Jun;  Song Li-Xin
收藏  |  浏览/下载:17/0  |  提交时间:2017/02/27
原子层沉积工艺制备催化薄膜厚度对生长碳纳米管阵列的影响 期刊论文
JOURNAL OF INORGANIC MATERIALS, 2016, 卷号: 31, 期号: 7, 页码: 681-686
作者:  Yang Chao;  Li Ying;  Yan Lu;  Cao Yun-Zhen
收藏  |  浏览/下载:16/0  |  提交时间:2017/02/27
VO2薄膜Vis-NIR及NIR-MIR椭圆偏振光谱分析 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2016, 卷号: 65, 期号: 12
作者:  Wang Pan-Pan;  Zhang Yu-Zhi;  Peng Ming-Dong;  Zhang Yun-Long;  Wu Ling-Nan
收藏  |  浏览/下载:18/0  |  提交时间:2017/02/27
Si和6H-SiC衬底上β-FeSi2薄膜的制备 期刊论文
2016, 卷号: 45, 页码: 629-632,638
作者:  宁耀斌;  蒲红斌;  陈春兰;  李虹;  李留臣
收藏  |  浏览/下载:7/0  |  提交时间:2019/12/20
SiC半导体在薄膜物理制备中的研究 期刊论文
2016, 卷号: 0, 期号: 10, 页码: 131-131
作者:  艾学正;  范梦慧;  谢泉;  王凯
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纯钛表面立方介孔SiO2薄膜诱导沉积碳磷灰石层 期刊论文
Journal of Inorganic Materials, 2015, 卷号: 30, 期号: 7, 页码: 725
作者:  张珍容99;  姚异渊99;  罗 凯99;  万 隆99;  刘宣勇
收藏  |  浏览/下载:11/0  |  提交时间:2016/08/15


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