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厦门大学 [3]
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期刊论文 [3]
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2013 [1]
2012 [1]
2011 [1]
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UMG多晶硅片的少子寿命
期刊论文
2013
潘淼
;
郑兰花
;
武智平
;
罗学涛
;
陈文辉
;
李锦堂
;
陈朝
收藏
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浏览/下载:7/0
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提交时间:2016/05/16
冶金法硅片
少子寿命
磷吸杂
热氧化
快速热处理
UMG silicon wafer
minority carrier lifetime
phosphorus gettering
thermal oxidation
rapid thermal annealing
冶金法n型多晶硅片磷、硼吸杂实验的研究
期刊论文
http://epub.cnki.net/grid2008/brief/detailj.aspx?filename=BDTG201206016&dbname=CJFQ2012, 2012
郑兰花
;
徐进
;
潘淼
;
陈朝
;
史珺
收藏
  |  
浏览/下载:4/0
  |  
提交时间:2013/04/18
磷吸杂
硼吸杂
n型多晶硅
少子寿命
物理冶金法多晶硅片磷吸杂工艺的优化
期刊论文
2011
武智平
;
潘淼
;
庞爱锁
;
李艳华
;
陈朝
收藏
  |  
浏览/下载:3/0
  |  
提交时间:2012/06/07
物理冶金法
多晶硅
少子寿命
磷吸杂
physical metallurgy process
multicrystalline silicon
minority carrier lifetime
P gettering
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