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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 内容类型：期刊论文     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于微反射镜阵列的光刻照明模式变换系统设计 期刊论文 光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 11, 页码: 102-111 作者:  邢莎莎;  冉英华;  江海波;  邢廷文 收藏  |  浏览/下载：26/0  |  提交时间：2016/11/01 成像系统  照明模式变换  自由照明光瞳  微反射镜阵列  光束整形  非球面复眼   基于混合梯度下降的高性能光刻机离轴照明衍射光学元件设计 期刊论文 光学学报, 2015, 卷号: 35, 期号: 1, 页码: 122005 作者:  宋强;  朱菁;  王健;  张方;  吕向博 收藏  |  浏览/下载：90/0  |  提交时间：2016/11/28 基于光瞳滤波器的径向偏振光束的聚焦整形 期刊论文 光学学报, 2014, 卷号: 34, 期号: 0 朱化凤; 王天阳; 刘佩; 付剑波; 李代林; 王宁; 王秀民 收藏  |  浏览/下载：39/0  |  提交时间：2015/03/29 光刻机光瞳整形衍射光学元件远场多参数检测方法 期刊论文 中国激光, 2013, 卷号: 40, 期号: 9, 页码: 908001 作者:  胡中华;  朱菁;  杨宝喜;  彭雪峰;  曾爱军 收藏  |  浏览/下载：21/0  |  提交时间：2016/11/28 用于投影光刻机光瞳整形的衍射光学元件设计 期刊论文 中国激光, 2013, 卷号: 40, 期号: 6, 页码: 616001 作者:  胡中华;  宝喜;  朱菁;  肖艳芬;  曾爱军 收藏  |  浏览/下载：38/0  |  提交时间：2016/11/28