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Process-induced stress and hydrogen effects on monolithic integrated BiCMOS-MEMS resonators 期刊论文
Sensors and Actuators, A: Physical, 2013
Zhao, Danqi; Zhang, Xia; He, Jun; Huang, Xian; Yang, Fang; Liu, Peng; Zhang, Dacheng
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2017/12/03
Silicon-on-insulator out-of-plane electrostatic actuator with in situ capacitive position sensing 期刊论文
journal of micro nanolithography mems and moems, 2012
Wang, Jiankun; Yang, Zhenchuan; Yan, Guizhen
收藏  |  浏览/下载：6/0  |  提交时间：2015/11/13
Micro torsion mirror actuated by compound electrostatic driving structure 期刊论文
sensors and actuators a physical, 2007
Wu, W. G.; Chen, Q. H.; Yan, G. Z.; Yin, D. Q.; Chen, Z. Y.; Hao, Y. L.; Xu, A. S.; Wang, Y. Y.
收藏  |  浏览/下载：4/0  |  提交时间：2015/11/10
基于垂直扭转梳齿驱动结构的硅微机械扭转微镜的设计加工与表征 期刊论文
纳米技术与精密工程, 2006
栗大超; 吴文刚; 袁勇; 郝一龙; 胡小唐
收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2015/11/11
基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜 期刊论文
传感技术学报, 2006
栗大超; 吴文刚; 袁勇; 陈庆华; 郝一龙; 胡小唐
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/11
Design, fabrication and characterization of novel micromirror with vertical torsion comb driver 期刊论文
nami jishu yu jingmi gongchengnanotechnology and precision engineering, 2006
Li, Da-Chao; Wu, Wen-Gang; Yuan, Yong; Hao, Yi-Long; Hu, Xiao-Tang
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13
复合静电驱动结构致动的内旋转微镜 期刊论文
半导体学报, 2005
吴文刚; 陈庆华; 尹冬青; 闫桂珍; 陈章渊; 郝一龙; 徐安士
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/12
硅微机械扭转微镜的研究进展 期刊论文
中国机械工程, 2005
栗大超; 吴文刚; 闫桂珍; 傅星; 郝一龙; 胡小唐
收藏  |  浏览/下载：1/0  |  提交时间：2015/11/12
Into-plane rotating micromirror actuated by a hybrid electrostatic driving structure 期刊论文
pan tao ti hsueh paochinese journal of semiconductors, 2005
Wu, Wengang; Chen, Qinghua; Yin, Dongqing; Yan, Guizhen; Chen, Zhangyuan; Hao, Yilong; Xu, Anshi
收藏  |  浏览/下载：3/0  |  提交时间：2015/11/13
一种新型静电驱动的单轴扭转微镜 期刊论文
微纳电子技术, 2003
王丛舜; 熊春阳; 杨振川; 张大成; 方竞
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