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一种由硅和二氧化硅共同支撑的可移动微结构及制作方法 成果
鉴定: 无, 2008
龙文华; 杨建义; 李广波; 贾科淼; 王跃林
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一种单硅片体微机械工艺实现的带静电自检测的加速度计 成果
鉴定: 无, 2007
李昕欣; 王跃林
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一种微机电系统扭转镜面驱动器、制作方法及应用 成果
鉴定: 无, 2006
李四华; 吴亚明
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曲面贴合过载保护硅加速度传感器及制造方法 成果
鉴定: 无, 2005
李欣欣; 王跃林; 张锟; 陆德仁; 熊斌; 罗乐
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高性能微机械高冲击加速度传感器技术研究(中科院) 成果
鉴定: 无, 2004
李昕欣; 王跃林; 张鲲; 熊斌; 陆德仁; 罗乐
收藏  |  浏览/下载：16/0  |  提交时间：2013/04/12
高性能微机械高冲击加速度传感器技术研究 成果
鉴定: 无, 2004
李昕欣; 王跃林; 张鲲; 熊斌; 陆德仁; 罗乐
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1×2,2×2机械光开关 成果
鉴定: 无, 2002
王跃林; 李铁; 吴亚明; 杨艺榕; 解健芳; 向民; 唐衍哲; 王东平; 王文辉; 王浙辉; 陈思琴
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