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上海微系统与信息技术... [6]
内容类型
成果 [6]
发表日期
2008 [2]
2007 [1]
2006 [1]
2002 [1]
1999 [1]
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一种圆片级微机械器件和光电器件的低温气密性封装方法
成果
鉴定: 无, 2008
刘玉菲
;
吴亚明
;
李四华
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2013/04/12
微机械热电堆红外探测器及其制作方法
成果
鉴定: 无, 2008
熊斌
;
王跃林
;
李铁
;
王翊
收藏
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浏览/下载:10/0
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提交时间:2013/04/12
基于半导体材料的纳米线制作方法
成果
鉴定: 无, 2007
王跃林
收藏
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浏览/下载:16/0
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提交时间:2013/04/12
一种因干法刻蚀受损伤的氮化镓基材料的回复方法
成果
鉴定: 无, 2006
王笑龙
;
于广辉
收藏
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浏览/下载:14/0
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提交时间:2013/04/12
1×2,2×2机械光开关
成果
鉴定: 无, 2002
王跃林
;
李铁
;
吴亚明
;
杨艺榕
;
解健芳
;
向民
;
唐衍哲
;
王东平
;
王文辉
;
王浙辉
;
陈思琴
收藏
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浏览/下载:107/0
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提交时间:2013/04/12
SOI硅高温压力传感器
成果
鉴定: 无, 1999
张轩雄
;
王广麦
;
陆德仁
;
杨根庆
;
董荣康
;
卢平芳
;
王文襄
;
刘秀娥
收藏
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浏览/下载:114/0
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提交时间:2013/04/12
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