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浏览/检索结果: 共5条，第1-5条 帮助 限定条件 内容类型：成果    专题：上海微系统与信息技术研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 三维互补金属氧化物半导体晶体管结构及其制备方法 成果 鉴定: 无, 2008 刘卫丽; 宋志棠; 封松林; 陈邦明 收藏  |  浏览/下载：23/0  |  提交时间：2013/04/12 非平面表面金属微细图形化的方法 成果 鉴定: 无, 2008 未知 收藏  |  浏览/下载：2/0  |  提交时间：2013/04/12 用于MEMS微机械加工的多层绝缘体上的硅材料及方法 成果 鉴定: 无, 2008 未知 收藏  |  浏览/下载：32/0  |  提交时间：2013/04/12 双绝缘埋层绝缘体上硅基二维光子晶体波导及制备方法 成果 鉴定: 无, 2002 章宁琳; 宋志棠; 林成鲁; 汪洋 收藏  |  浏览/下载：13/0  |  提交时间：2013/04/12 硅中离子注入纳米孔层的形成及吸杂效应研究 成果 鉴定: 无, 2000 张苗; 林成鲁; 宋志棠; 多新中; 黄继颇; 陈莉芝; 倪如山 收藏  |  浏览/下载：35/0  |  提交时间：2013/04/12