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| 基于约束化学刻蚀的新型电化学微加工方法及其应用 学位论文
2016, 2015
张杰
  收藏 | 浏览/下载：3/0 | 提交时间：2017/06/20
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| 光栅剪切干涉波前测量技术研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 李杰
收藏 | 浏览/下载：209/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于激光相变热刻蚀效应的微纳结构制备 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 周奇军
收藏 | 浏览/下载：20/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于激光相变热刻蚀效应的微纳结构制备 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 周奇军
收藏 | 浏览/下载：18/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 软X射线多层膜的界面研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 赵娇玲
收藏 | 浏览/下载：68/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 软X射线多层膜界面研究 学位论文
博士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 赵娇玲
收藏 | 浏览/下载：36/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术 学位论文
硕士: 中国科学院上海光学精密机械研究所, 2016
作者: 方伟
收藏 | 浏览/下载：121/0 | 提交时间：2016/11/28
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| 曲面微纳结构的静电诱导成形原理与工艺研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 李和福
收藏 | 浏览/下载：68/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 极紫外光刻物镜系统光学设计研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 王君
收藏 | 浏览/下载：118/0 | 提交时间：2015/11/30
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| 基于平板超透镜的亚波长成像与光刻研究 学位论文
博士: 中国科学院大学, 2015
作者: 余慕欣
收藏 | 浏览/下载：117/0 | 提交时间：2015/11/30
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