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基于PDMS芯模的微电铸技术及其成形机理研究
学位论文
北京: 中国科学院大学, 2021
作者:
周波
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2022/12/15
微电铸
金属微型零件
弹性聚合物芯模
界面润湿性
液相传质
3D打印特殊润湿性表面及功能器件研究
学位论文
北京: 中国科学院大学, 2020
作者:
闫昌友
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浏览/下载:24/0
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提交时间:2021/04/13
3D打印
仿生
特殊润湿性
油水分离
连续液面界面成型
氘等离子体辐照下第一壁防护材料的刻蚀与燃料滞留行为研究
学位论文
北京: 中国科学院大学, 2019
作者:
乔丽
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浏览/下载:117/0
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提交时间:2019/10/31
第一壁材料
钨
低活化钢
氘等离子体
燃料滞留与刻蚀
First wall material
Tungsten
Reduced-activation ferritic-martensitic steel
Deuterium plasma
Fuel retention and erosion
新型多功能金纳米粒子比色传感器的快速分析体系研究
学位论文
北京: 中国科学院大学, 2019
作者:
陈心悦
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浏览/下载:12/0
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提交时间:2020/09/21
金纳米粒子
比色检测
空间位阻
定向聚集
Gold nanoparticle sensor
Colorimetric detection
Steric hindrance
Oriented aggregation
基于弹性模具表面润湿性调控的陶瓷软刻蚀成形技术研究
学位论文
2019
作者:
韩雪
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浏览/下载:9/0
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提交时间:2020/11/05
软刻蚀
陶瓷
微图案
PDMS
表面引发原子转移自由基聚合
表面润湿性调控
杂质等离子体辐照对钨中氘滞留影响的研究
学位论文
2019
作者:
张瀚文
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2020/11/05
钨
氘
氮
氩
氮化钨
热脱附
氘滞留
等离子体刻蚀中反应物输运对剖面演化影响的多尺度研究
学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者:
张赛谦
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浏览/下载:3/0
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提交时间:2019/12/02
等离子体刻蚀
多尺度模型
鞘层
离子能量和角度分布
原子层刻蚀
CF4/Ar感性耦合等离子体增强准原子层刻蚀SiO2多尺度研究
学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者:
杨雪
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浏览/下载:1/0
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提交时间:2019/12/02
CF_4/Ar感性耦合等离子体增强准原子层刻蚀SiO_2多尺度研究
学位论文
: 大连理工大学, 2018
作者:
杨雪
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浏览/下载:5/0
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提交时间:2019/12/02
原子层刻蚀
离子能量角度分布
刻蚀槽形貌演化
深宽比依赖效应
极紫外与X射线增反膜表面碳沉积去除技术研究
学位论文
中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018
作者:
王依
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浏览/下载:4/0
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提交时间:2019/09/23
极紫外
X射线
增反膜
碳沉积
等离子体去除
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