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浏览/检索结果: 共2条，第1-2条 帮助 限定条件 内容类型：学位论文    专题：长春光学精密机械与物理研究所    第一署名单位    第一作者单位    通讯作者单位     已选(0)清除 条数/页：5101520253035404550556065707580859095100   排序方式：请选择作者升序作者降序题名升序题名降序发表日期升序发表日期降序提交时间升序提交时间降序 基于矢量像差理论的离轴反射系统失调校正研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  张晓彬 收藏  |  浏览/下载：0/0  |  提交时间：2019/09/23 离轴反射系统  校正量  矢量像差理论  系统还原  系统补偿   浸没式光刻投影物镜光学薄膜技术研究 学位论文 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所): 中国科学院大学(中国科学院长春光学精密机械与物理研究所), 2018 作者:  毕丹丹 收藏  |  浏览/下载：9/0  |  提交时间：2019/09/23 光学薄膜  浸没式光刻  大角度保偏膜系  浸液环境寿命  激光辐照寿命