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科研机构
微电子研究所 [6]
内容类型
外文期刊 [6]
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2009 [1]
2007 [3]
2004 [1]
2003 [1]
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内容类型:外文期刊
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Oxygen Effects on a He/O-2 Plasma Jet at Atmospheric Pressure
外文期刊
2009
作者:
Wan, J
;
Wang, SG
收藏
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浏览/下载:8/0
  |  
提交时间:2010/11/26
Glow-discharge
Deposition of SiOx films with a capacitively-coupled plasma at atmospheric pressure
外文期刊
2007
作者:
Xu, XY
;
Li, L
;
Wang, SG
;
Zhao, LL
;
Ye, TC
收藏
  |  
浏览/下载:7/0
  |  
提交时间:2010/11/26
Chemical-vapor-deposition
Silicon Dioxide Films
Discharge
Jet
Photoresist etching by atmospheric pressure uniform-glow plasma
外文期刊
2007
作者:
Wang, SG
;
Xu, XY
;
Zhao, LL
;
Ye, TC
收藏
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浏览/下载:12/0
  |  
提交时间:2010/11/26
Discharge
Temperature comparison for non-equilibrium atmospheric pressure Ar and He plasma jets
外文期刊
2007
作者:
Duan, XJ
;
Xu, XY
;
Zhao, LL
;
Wang, SG
收藏
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浏览/下载:5/0
  |  
提交时间:2010/11/26
Dielectric-barrier
Argon
Discharges
Deposition
Basic characteristics of an atmospheric pressure rf generated plasma jet
外文期刊
2004
作者:
Wang, SG
;
Li, HJ
;
Ye, TC
;
Zhao, LL
收藏
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浏览/下载:13/0
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提交时间:2010/11/26
Silicon Dioxide Films
Dielectric-barrier
Deposition
Discharge
Discharge comparison of nonequilibrium atmospheric pressure Ar/O-2 and He/O-2 plasma jets
外文期刊
2003
作者:
Wang, S
;
Schulz-von der Gathen, V
;
Dobele, HF
收藏
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浏览/下载:11/0
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提交时间:2010/11/26
Dielectric-barrier
Deposition
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